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技術(shù)指標(biāo)：

1.  一次檢測范圍：

最大：?100mm（僅用于定性無損檢測）；?75mm (定量應(yīng)力檢測)；

最?。? 10mm

2.  檢測分辨率：

圖像分辨率： 500萬像素（用于無損檢測）；125萬像素（1224*1024，用于定量應(yīng)力測試）；

空間分辨率: 優(yōu)于 50微米；

應(yīng)力雙折射分辨率：優(yōu)于3nm;

3. 檢測精度：

應(yīng)力雙折射：優(yōu)于5nm;

應(yīng)力：優(yōu)于1.0MPa (基于0.4mm的硅梁，四點(diǎn)彎曲試驗(yàn))；

4. 全場檢測速度：

應(yīng)力場檢測：60s （基于像素偏振相機(jī)）；

5.  試件平臺移動(dòng)范圍：

X軸：大于100mm;  Y軸：大于100mm;  Z 軸：大于400mm

6. 光源指標(biāo)：

功率：溴鎢燈：150W或1177nm激光：0.5W ;

光斑尺寸：100mm-10mm 連續(xù)可調(diào)(總功率保持不變)。